斜轴单转子单晶硅快速抛光方法

张熙奎, 熊玉朋, 陈驰昊, 王瑜, 黄铖, 戴一帆

陆军工程大学学报 ›› 2026, Vol. 5 ›› Issue (4) : 44-51.

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陆军工程大学学报 ›› 2026, Vol. 5 ›› Issue (4) : 44-51. DOI: 10.12018/j.issn.2097-0730.20251107004
机械工程·军用机械工程与智能化控制

斜轴单转子单晶硅快速抛光方法

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Inclined-Axis Single-Rotor Rapid Polishing Method for Monocrystalline silicon

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